• プレスリリース
  • 2020.05.15

量子化学研究室の研究成果がプレスリリースされました。「フェムト秒レーザー光の高次高調波によって薄膜の微細加工に成功! ― 極端紫外光の回折限界集光が拓く微細加工の最前線 ―」

関連 URL

  1. https://www.s.u-tokyo.ac.jp/ja/info/6853/