Hasegawa Group Hasegawa Group
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主な現有装置

作製装置など

  • パルスレーザ堆積薄膜合成装置 (PLD) (4台)
  • スパッタ成膜装置 (2台)
  • 雰囲気下アニール装置
  • 電気炉 (多数)
  • Physical Vapor Transport (PVT) 装置 (物理気相輸送法装置)
  • グローブボックス
  • 抵抗加熱蒸着装置

評価装置 (プローブ顕微鏡・顕微鏡)

  • 超高真空低温走査型トンネル顕微鏡 (STM) (3台)
  • 超高真空トンネル顕微鏡 (STM)
  • 超高真空低温・磁気力顕微鏡装置 (MFM)
  • 原子間力顕微鏡 (AFM) (2台)
  • 走査型SQUID顕微鏡装置
  • マイクロ波顕微鏡装置 (SμM) (3台)
  • 偏光顕微鏡
  • 光学顕微鏡

評価装置 (その他物性・構造評価)

  • 物理物性評価装置 (PPMS)
  • 磁化率測定装置 (MPMS; SQUID)
  • 温度可変プローバー
  • 半導体パラメータアナライザー
  • 薄膜X線回折装置(2台)
  • 触針式膜厚計
  • 局所磁気光学効果評価装置
  • 紫外磁気光学・分光カー評価装置
  • 紫外・可視分光光度計
  • エリプソメータ
  • He-Cdレーザー
  • YAGレーザー
  • フェムト秒レーザー

科学技術計算用計算機(Linuxワークステーションクラスタ)

  • 管理ノード (RC製 4-Core 2.4GHz, 12GB, 3TB) (1台)
  • 主計算ノード (RC製 12-Core 3.46GHz, 24GB) (8台)
  • 副計算ノード (RC製 8-Core 2.66HGz, 24GB) (2台)
  • 補助計算ノード (VT製 8-Core 2.66GHz, 16GB) (2台)
  • 第一原理計算ソフトウェア (VASP, Quntum Espresso)

その他

共同利用装置として以下のものを使用しています

  • 走査型電子顕微鏡 (SEM)
  • 透過型電子顕微鏡 (TEM)
  • X線光電子分光装置 (XPS)
  • ラマン分光装置
  • 電子線露光装置 (電子ビームリソグラフィ)
  • プラズマアッシャー
  • ICPエッチング装置
  • 電子ビーム蒸着装置
  • ワイヤボンダー
  • レーザー顕微鏡
2012年8月現在