日立HF-2000形の特長
  1. 色収差の大幅な改善により、高分解能、高コントラスト像が得られます。
  2. 電子ビームを直径1nmに絞った場合でも、約1nAほどのプローブ電流がとれるため、極微小領域の X 線分析や、ELLS分析が高感度でできます。
  3. 極微小領域の電子線回析に対しても、高い分解能指数が得られます。
  4. 電子線バイプリズムを組み込むことにより、電子線ホログラフィーが可能となります。このため、微小領域の磁束を直接観察することが可能となります。
  5. 冷陰極電界放出形電子銃は、一度光学軸を合わせれば、加熱によるドリフトなどが起こらないため、タングステンやLaB6よりも簡単に利用できます。また、チップの寿命も通常の使用なら1年以上も利用できます。